GD03-014半导体激光整形微透镜的飞秒激光加工研究

摘要：

　　加工设计了大尺寸非球面微透镜对垂直腔面发射半导体激光器光束整形。飞秒激光直写技术能够实现在三维平面内高精度微纳米量级的任意形貌，因此通过飞秒激光直写技术制作了形貌与尺寸可控的大尺寸非球面微透镜。定量的分析了由于聚合物收缩和低数值孔径物镜引起的实际加工的透镜尺寸与理论设计之间的变化关系，给出相对应的关系式。最后应用非球面微透镜对垂直腔面面发射半导体激光器的出射光束进行整形，给出了出射光的发散角的整形结果。

关键词： 光束整形 非球面微透镜 垂直腔面发射半导体激光器 飞秒激光直写

作者: 李奇松

作者单位: 吉林大学物理学院,集成光电子国家重点联合实验室,吉林长春 130012

会议类型: 国内会议

会议名称: 第10届全国光电技术学术交流会

会议地点: 北京

会议语种:中文

页码: 205-205

在线出版日期: 2012-06-12（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）