GD08-013CCD芯片量子效率的测量装置及其测量方法

摘要：

　　CCD芯片的量子效率表示在曝光时间内到达像素光敏面的光子转换为电子的百分比，与器件的几何结构、材料等有关，是评价CCD芯片性能的最主要因素之一。因此，根据EMVA1288标准设计了一套CCD芯片量子效率的测量装置，并且阐述了其测量方法，解决了单色光生成以及对于不同CCD测量时的兼容性问题。经过反复论证，该测量装置和方法具有通用性强、高精度和高稳定度等优点。

关键词： CCD芯片 量子效率 测量装置 测量方法

作者: 邵晓鹏 王杨 许宏涛

作者单位: 西安电子科技大学 技术物理学院,西安 710071

会议类型: 国内会议

会议名称: 第10届全国光电技术学术交流会

会议地点: 北京

会议语种:中文

页码: 238-238

在线出版日期: 2012-06-12（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）