GD08-014液相外延HgCdTe薄膜组分均匀性对器件响应光谱的影响
研究了HgCdTe液相外延薄膜的组分均匀性对器件响应光谱的影响.提出了一种计算HgCdTe红外探测器响应光谱的方法,考虑了HgCdTe液相外延薄膜的纵向组分分布和横向组分波动,以及光在器件各层结构中的相干、非相干传输.使用该方法计算了响应光谱的峰值响应率和截止波长随着液相外延HgCdTe的互扩散区厚度△z和组分均方差σ的变化规律.结果表明对于一般的HgCdTe外延薄膜,σ小于0.002,不需要考虑横向组分波动的影响.同时计算了峰值响应率和黑体响应率随着液相外延HgCdTe的总厚度的变化规律,可以得到最佳的吸收区厚度.
HgCdTe液相外延薄膜 响应光谱 纵向组分分布 横向组分波动
崔宝双 魏彦锋 孙权志 杨建荣
中国科学院上海技术物理研究所 红外成像材料与器件重点实验室,上海 200083
国内会议
北京
中文
238-238
2012-06-12（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）