GD08-019基于旋转-平移法的夏克-哈特曼波前传感器精度标校仿真分析

摘要：

　　用于光学元件面形检测和光学系统像差检测的夏克-哈特曼波前传感器，在标校过程中用一块平面反射镜或标准球面镜作为参考面。而在此过程中，一般将其视为理想状态，忽略了其本身所带误差。为满足高精度检测要求，平面反射镜或标准球面镜面形误差不可忽略。本文详细推导了旋转-平移法的理论公式，并采用旋转-平移的绝对检测方法进行仿真分析，获得平面反射镜面形误差。仿真结果表明：仿真获得的平面反射镜面形误差残差与初始所设相差很小，与初始所设值很好的吻合。

关键词： 光学检测 旋转-平移法 夏克-哈特曼波前传感器 绝对检测

作者: 吴腊红 饶学军 杨金生

作者单位: 中国科学院光电技术研究所,成都 610209;中国科学院研究生院,北京 100039 中国科学院光电技术研究所,成都 610209

会议类型: 国内会议

会议名称: 第10届全国光电技术学术交流会

会议地点: 北京

会议语种:中文

页码: 239-240

在线出版日期: 2012-06-12（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）