会议专题

GD08-019基于旋转-平移法的夏克-哈特曼波前传感器精度标校仿真分析

  用于光学元件面形检测和光学系统像差检测的夏克-哈特曼波前传感器,在标校过程中用一块平面反射镜或标准球面镜作为参考面。而在此过程中,一般将其视为理想状态,忽略了其本身所带误差。为满足高精度检测要求,平面反射镜或标准球面镜面形误差不可忽略。本文详细推导了旋转-平移法的理论公式,并采用旋转-平移的绝对检测方法进行仿真分析,获得平面反射镜面形误差。仿真结果表明:仿真获得的平面反射镜面形误差残差与初始所设相差很小,与初始所设值很好的吻合。

光学检测 旋转-平移法 夏克-哈特曼波前传感器 绝对检测

吴腊红 饶学军 杨金生

中国科学院光电技术研究所,成都 610209;中国科学院研究生院,北京 100039 中国科学院光电技术研究所,成都 610209

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第10届全国光电技术学术交流会

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239-240

2012-06-12(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)