GD09-030 128元高速InSb线列焦平面探测器

摘要：

　　本文主要介绍一种具有精确控制光敏面尺寸，高速运行128元锑化铟中波红外探测器组件。讨论了器件研制工艺中精确限制光敏面尺寸的实现，以及成像扫描机构的设计。最后介绍了器件的扫描热图像。

关键词： 128兀 InSb 焦平面

作者: 杨晓阳 袁永刚 王继强 陈伯良 李向阳

作者单位: 中国科学院上海技术物理研究所,上海 200083

会议类型: 国内会议

会议名称: 第10届全国光电技术学术交流会

会议地点: 北京

会议语种:中文

页码: 251-251

在线出版日期: 2012-06-12（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）