关键词： SiO<,2>薄膜 电导机制 击穿机制
作者: 许铭真 谭长华
作者单位: 北京大学微电子所
会议类型: 国内会议
会议名称: 第七届全国固体薄膜学术会议
会议地点: 广西北海
会议语种:中文
页码: 144～146
在线出版日期: 2000-10-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）