热丝距离对钛合金表面金刚石薄膜沉积的影响

摘要：

　　采用热丝化学气相沉积法(HFCVD)在钛合金(Ti6A14V)表面沉积金刚石薄膜，研究热丝距离对所得金刚石薄膜样品的物相组成、表面形貌和附着性能的影响。利用扫描电镜(SEM)、激光拉曼光谱(Raman)和维氏硬度仪分析了薄膜的形貌、结构、成分和附着性能。结果表明：金刚石的形核密度随着热丝距离的增加而减小，合适的热丝距离对金刚石膜的生长有重要影响。

关键词： 金刚石薄膜 钛合金 化学气相沉积法 热丝距离 产品质量

作者: ZHANG Yi-hao 张益豪

作者单位: LuoYang ship material research institution 洛阳船舶材料研究所

会议类型: 国内会议

会议名称: 河南开封第十四届绿色与安全涂装技术交流大会

会议地点: 开封

会议语种:中文

页码: 213-219

在线出版日期: 2012-10-13（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）