关键词： SiO<,2>/Si 波导结构 波导材料
作者: 王红杰 雷红兵 杨沁清
作者单位: 中国科学院半导体研究所,集成光电子国家重点实验室(北京)
会议类型: 国内会议
会议名称: 第七届全国固体薄膜学术会议
会议地点: 广西北海
会议语种:中文
页码: 9～11
在线出版日期: 2000-10-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）