电子束物理气相沉积设备的研制及应用研究

摘要：

　　电子束物理气相沉积(EB-PVD)以其高沉积速率，成分可控和组织致密等特点在制备航空发动机热胀涂层、新型发动机叶片和功能梯度材料方面取得了快速的发展。概述了电子束物理气相沉积系统的主要构成部件及设计研制过程，介绍了电子束物理气相沉积技术近期的应用研究热点及进展。

关键词： 电子束物理气相沉积 设备 研制及应用 研究进展 应用前景

作者: 孙井永 张虎

作者单位: 北京航空航天大学材料科学与工程学院

会议类型: 国内会议

会议名称: 2012年中国压铸、挤压铸造、半固态加工学术年会

会议地点: 苏州

会议语种:中文

页码: 539-539

在线出版日期: 2012-11-25（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）