羰基金属化学气相沉积制备金属钨/钼膜材料研究及应用进展

摘要：

　　通过羰基钨/钼化学气相沉积工艺制备金属钨、钼膜材料，是一种低温沉积钨、钼薄膜的高效方法。所制备的钨、钼膜层在提高钢铁材料的耐磨耐蚀性，制备大规模集成电路的电路板材料，有机物合成催化剂，光致变色材料，热辐射转换材料等领域具有良好的应用前景。本文介绍了羰基钨、羰基钼的物理化学性质和合成方法，对羰基金属化学气相沉积法制备钨、钼金属膜及钨钼复合膜材料的研究及应用现状进行了综述，并对羰基金属化学气相沉积法制备金属钨、钼膜材料的未来发展进行了展望。

关键词： 冶金工业 有机金属膜材料 化学气相沉积 制备工艺

作者: 李一 柳学全 李楠 李金普

作者单位: 中国钢研科技集团有限公司,北京 100081

会议类型: 国内会议

会议名称: 中国工程科技论坛第151场——粉末冶金科学与技术发展前沿论坛

会议地点: 长沙

会议语种:中文

页码: 180-189

在线出版日期: 2012-11-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）