钌金属溅射靶材烧结工艺研究

摘要：

　　采用热压、放电等离子烧结及直接热压等热压烧结工艺制备了钌金属溅射靶材，通过对致密度、晶粒度与氧含量分析研究了工艺过程对钌金属靶材制备的影响，并对比分析了三种方法制备钌靶的特点。结果表明：通过工艺优化利用三种方法均能制备出相对密度达到99％以上的高密度钌靶；随着制备温度的升高钌靶氧含量降低，晶粒尺寸增大；热压工艺制备周期最长，钌靶表面有晶粒粗大层，放电等离子烧结与直接热压工艺都具有快速、近净成型的特点。

关键词： 钌金属 溅射靶材 烧结工艺 性能表征

作者: 罗俊锋 丁照崇 董亭义 何金江 王欣平 江轩

作者单位: 北京有色金属研究总院有研亿金新材料股份有限公司,北京 102200

会议类型: 国内会议

会议名称: 2012’中国有色金属加工行业技术进步产业升级大会

会议地点: 贵阳

会议语种:中文

页码: 416-420

在线出版日期: 2012-09-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）