SIMOX材料及SIMOX-CMOS器件的研究

关键词： SIMOX材料 CMOS逻辑电路 寄生电容 闩锁现象

作者: 温梦全

作者单位: 航空航天大学理学院物理系

会议类型: 国内会议

会议名称: 第十一届全国半导体集成电路、硅材料学术会议

会议地点: 大连

会议语种:中文

页码: 683～685

在线出版日期: 1999-09-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）