关键词： SIMOX薄膜 红外光谱特性 电阻
作者: 卢殿通
作者单位: 师范大学低能核物理研究所,北京市辐射中心(北京)
会议类型: 国内会议
会议名称: 第七届全国固体薄膜学术会议
会议地点: 广西北海
会议语种:中文
页码: 98～101
在线出版日期: 2000-10-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）