单束调制离子减薄制备大面积均匀厚度TEM样品

摘要：

　　利用单束调制离子减薄技术，对SrTiO3截面样品的同一位置进行间断性轰击，得到了厚度均匀的透射电镜截面样品。

关键词： 透射电镜截面样品 制备工艺 厚度控制 单束调制离子减薄技术

作者: 王凤莲 李莹 李超 姚湲

作者单位: 中国科学院物理研究所先进材料及结构分析实验室,北京100190

会议类型: 国内会议

会议名称: 2012年全国电子显微学学术会议

会议地点: 成都

会议语种:中文

页码: 52-53

在线出版日期: 2012-09-22（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）