定点电子束刻蚀制作一维纳米材料微纳电极的方法

摘要：

　　利用扫描电镜的电子束定点刻蚀制作了微纳电极，研究了电子加速电压和照射时间对刻蚀效果的影响。并测量了该结构的电性能。

关键词： 一维纳米材料 微纳电极 制备工艺 定点电子束刻蚀技术

作者: 李馨 齐俊杰 张骐 张跃

作者单位: 北京科技大学新金属材料国家重点实验室,材料科学与工程学院,北京100083 北京科技大学新能源材料与技术重点实验室,北京100083 北京科技大学新金属材料国家重点实验室,材料科学与工程学院;新能源材料与技术重点实验室,北京100083

会议类型: 国内会议

会议名称: 2012年全国电子显微学学术会议

会议地点: 成都

会议语种:中文

页码: 108-108

在线出版日期: 2012-09-22（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）