计量型扫描电子显微镜成像方法研究
本文提出了一种新的基于位移台移动方式的扫描电子显微镜的成像方法。在完成了激光干涉测量技术与扫描成像结合基础上，建立计量型扫描电子显微镜系统。使得扫描电子显微镜图像中每个像素点都具有精确到纳米尺度的位置坐标数值。在扫描电子显微镜中引入可溯源的计量系统，为开展利用扫描电子显微镜进行长度计量奠定基础。
计量型扫描电子显微镜 成像机理 结构优化 精度控制
殷伯华 徐哲 文良栋 夏瑞 韩立 高思田 卢明臻
中国科学院电工研究所北京市生物电磁学重点实验室微纳加工研究部,北京100190 中国计量科学研究院长度计量科学与精密机械测量技术研究所,北京100013
国内会议
成都
中文
118-119
2012-09-22（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）