卷对卷蓝膜溅射设备的研制

摘要：

　　蓝膜一太阳光谱选择性吸收涂层，本文针对生产蓝膜的卷对卷镀膜设备在沉积构成蓝膜膜系一吸收、减反(光学干涉)、精确控制、性能优良等方面的要求，介绍了卷对卷蓝膜溅射设备真空室、抽气系统、传输系统等结构的配置，探讨了其蓝膜产品性能。

关键词： 蓝膜溅射设备 制备工艺 结构分析 性能评价

作者: 威海金博新能源科技有限公司

会议类型: 国内会议

会议名称: 2012年中国太阳能热利用行业年会暨太阳能光热产业发展二十年纪念会

会议地点: 北京

会议语种:中文

页码: 245-246

在线出版日期: 2012-12-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）