Al-N/Al涂层膜基结合强度工艺试验研究

摘要：

　　本文通过对Al-N/Al太阳能选择性吸收涂层沉积工艺的研究，分析了该涂层膜基结合强度较差的原因，进行了不同沉积工艺条件下的涂层膜基结合强度、吸收率和热损试验，对试验结果进行了仔细的分析，优化确认在Al-N/Al太阳能选择性吸收涂层沉积工艺基础上实施第N层充N2气工艺，可以较好地提高涂层的膜基结合强度，同时保证涂层的吸收率和太阳能集热管的热损不发生明显的下降。

关键词： 太阳能集热器 选择性吸收涂层 结合强度 工艺优化

作者: 韩成明

作者单位: 北京清华阳光能源开发有限责任公司

会议类型: 国内会议

会议名称: 2012年中国太阳能热利用行业年会暨太阳能光热产业发展二十年纪念会

会议地点: 北京

会议语种:中文

页码: 250-254

在线出版日期: 2012-12-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）