关键词： SiGe 外延材料
作者: 李开成 张静 刘道义 文尧 易强
作者单位: 电子部24所模拟集成电路国家重点实验室(重庆)
会议类型: 国内会议
会议名称: 第五届全国分子束外延学术会议
会议地点: 昆明
会议语种:中文
页码: 117-118
在线出版日期: 1999-06-20（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）