离子加工学概念与发展--全国电子束离子束专业会议四十周年记忆
根据国家发展半导体集成电路的需要，全国主要地区组织了大力研发离子注入半导体设备与电子束曝光设备的会战，也就开启了中国大规模研发离子加工设备与工艺的先河。这个会议不仅在当时是十分必要的，而且在中国离子加工技术的发展与应用的历程中具有里程碑意义。本文对会议成果以及这40年来我国离子加工技术，回顾分析了离子加工技术40年发展的历史进程，结合40年来的经历与经验，建议重视建设离子物理学与离子加工学两门学科。讨论了离子加工学某些新技术、新领域的新进展与新应用。
半导体集成电路 离子加工学 机械设备 电子束
赵渭江 付东坡 郭鹏 朱昆
北京大学重离子物理研究所&核物理与核技术国家重点实验室,北京100871
国内会议
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2012-10-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）