射频电感耦合离子源放电室内放电等离子体的二维磁流体模拟研究
对射频电感耦合离子源内的放电等离子体运用磁流体动力学建立二维磁流体模型进行数值模拟,得到了放电室内等离子体参数分布.电子由于受双极性电势的约束主要分布在放电室的中心,放电等离子体吸收能量的区域主要在天线下端放电室内距陶瓷板7mm处,耦合进放电室内的最大功率密度为4.3×106W/m3.对比电子的温度和离子密度分布,在低气压条件下,电子加热的区域和产生电离的区域是分开的,电子加热的区域出现在天线下端陶瓷板附近,而最强的电离过程发生在双极性电势最高的位置附近.放电等离子体密度随功率近似成正比关系,相同功率和气压条件下,等离子体密度依赖于放电室的几何尺寸.在相同的放电室宽度下,放电室高度为75mm,等离子体密度最大.
磁流体发电 射频电感耦合离子源 等离子体 放电特性 数值模拟
聂军伟 陈庆川 黄琪 冯春堂 赵哲 孙巍
核工业西南物理研究院 成都 610041
国内会议
成都
中文
73-79
2012-10-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）