低能团簇负离子束研究

摘要：

　　本文在1.7MV串列加速器的注入器中建立了团簇离子束注入装置，在磁分析器内部安装静电扫描器，用改进的法拉第杯作为注入靶室，用铯溅射负离子源产生碳团簇(C1-C10)离子束，进行能量为0.6-20keV/atom的低能离子注入，辅以热退火、淬火处理，成功地制备了几个原子层厚度的graphene样品，为制备单层或者双层石墨烯创造了条件.

关键词： 串列加速器 离子注入 团簇 淬火处理

作者: Zhang Rui 张瑞 Zhang Zaodi 王泽松 Wang Zesong 张早娣 Wang Shixu 王世旭 Fu Dejun 付德君

作者单位: Accelerator Laboratory,School of Physics and Technology,Wuhan University,Wuhan 430072 武汉大学物理科学与技术学院加速器实验室,武汉430072

会议类型: 国内会议

会议名称: 2012全国荷电粒子源、粒子束学术会议

会议地点: 成都

会议语种:中文

页码: 93-97

在线出版日期: 2012-10-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）