RPE和JGB对超级化学镀铜微孔填充影响的新体系研究

摘要：

　　本文实验以乙醛酸为还原剂，RPE为抑制剂，JGB为加速剂，研究其对超级化学镀铜微孔填充的影响。另外本文利用X射线衍射研究了JGB的添加对化学铜膜结晶状态的影响。

关键词： 化学镀铜技术 抑制剂 填充行为 加速剂

作者: 沈秋仙 舒增年 王旭

作者单位: 丽水学院理学院,浙江丽水323000

会议类型: 国内会议

会议名称: 第十一届全国化学镀会议

会议地点: 南京

会议语种:中文

页码: 74-75

在线出版日期: 2012-09-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）