二元光学器件三维表面形貌测量方法研究
二元光学器件是一种表面由微细结构组成的新型衍射光学元件,其表面结构的形状及偏差对使用性能有着严重的影响.随着研究的深入,应用领域的扩大,二元光学器件表面质量的检测日益重要.本文对二元光学器件表面形貌测量的要求及技术难点进行了具体分析,提出了一种基于相移干涉显微原理的三维表面结构形貌测量方法.测量系统由干涉显微光学系统、CCD图像采集系统及微型计算机系统等部分组成.干涉显微光学系统形成两束干涉光并使之发生干涉,干涉光强由CCD图像采集系统测量,测量数据送计算机处理.采用相移干涉位相测量方法进行数据处理,便可测出被测位相分布及表面形貌.本文建立了测量系统的数学模型,阐述了位相及形貌测量的原理,分析并解决了二元光学器件表面形貌测量中存在的一些技术难题,并通过计算机模拟给予了验证.
二元光学器件 相移显微干涉术 位相测量 表面形貌测量
惠梅 牛憨笨 王凯歌
中国科学院西安光学精密机械研究所
国内会议
合肥
中文
237-241
2000-08-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）