TiO2薄膜的制备及其阻变性能研究

摘要：

　　利用射频磁控溅射法制备TiO2薄膜，研究了薄膜沉积后不同热处理度以及不同溅射气氛下制备的TiO2薄膜再进行热处理对薄膜物相的影响规律，通过摸索条件，成功的制备了具有锐钛矿结构的TiO2薄膜。利用优化后的工艺参数沉积TiO2薄膜，制备了Ag/TiO2/Au及Au/TiO2/Au三明治结构，并研究了这两种结构的阻变性能，结果表明，这两种结构表现出了不同的阻变特性。

关键词： 二氧化钛薄膜 制备工艺 阻变性能 电极材料 氧空位

作者: 申婧翔 王国锋 王顺利 薛永洲 程琳 李培刚 唐为华

作者单位: 浙江理工大学物理系,光电材料与器件中心,杭州,310018 北京邮电大学理学院,信息光子学与光通信国家重点实验室,北京,100876

会议类型: 国内会议

会议名称: 第十一届全国X射线衍射学术大会暨国际衍射数据中心(ICDD)研讨会

会议地点: 长春

会议语种:中文

页码: 216-219

在线出版日期: 2012-07-27（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）