关键词： Si(111)衬底 SiC 外延生长
作者: 王引书 李晋闽 林兰英 张方方
作者单位: 中国科学院半导体研究所(北京)
会议类型: 国内会议
会议名称: 第五届全国分子束外延学术会议
会议地点: 昆明
会议语种:中文
页码: 115-116
在线出版日期: 1999-06-20（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）