图形化蓝宝石衬底结构对GaN基LED器件出光效率的影响

摘要：

　　基于图形化蓝宝石衬底的GaN基LED器件光功率相比平板蓝宝石衬底的GaN基LED器件有很大增加，是提高氮化镓基发光二极管出光效率的一种有效方法。本文的目的在于研究图形化蓝宝石衬底结构是如何影响LED器件出光效率及其出光形式。通过基于蒙特卡罗方法在模型内进行非序列性光线追踪的模拟计算可知：图形化蓝宝石衬底的周期性图案的周期相同时，若保持高度不变，当图案的底部宽度增加(即间距减少)时，其相应的LED结构在轴向出光呈现增加趋势，而其侧向出光也明显提升，使得LED总的光提取率有明显提高；若保持底部宽度(间距)不变，当图案的高度增加时，其相应LED结构轴向出光会随之增加，而其侧向出光会相应减少，总的光提取率没有呈现单调性的变化规律。

关键词： 图形化蓝宝石衬底 结构性能 氮化镓基发光二极管 出光效率

作者: 张能 孙永健 罗睿宏 代锦红 李称养 王农华 童玉珍 张国义 王超 邹刚

作者单位: 东莞中镓半导体科技有限公司研发中心,广东东莞523500 东莞中镓半导体科技有限公司研发中心,广东东莞523500;北京大学工学院工程技术研究院,北京100871 美国应用材料公司(中国), 西安710000

会议类型: 国内会议

会议名称: 第十三届全国LED产业发展与技术研讨会

会议地点: 武汉

会议语种:中文

页码: 44-49

在线出版日期: 2012-09-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）