纳米SiO2抛光液的制备及其在蓝宝石CMP中的应用

摘要：

　　本文制备了一种纳米氧化硅抛光液，采用扫描电镜、激光粒度仪、大颗粒计数仪对其进行了表征.进而研究了其在蓝宝石表面的抛光性能，采用FRT、Candela、原子力显微镜等对抛光后的表面进行了表征.结果表明制备的纳米氧化硅抛光液在LED蓝宝石衬底表面具有优异的抛光性能，达到了无划伤、无腐蚀坑，且粗糙度小于0.2 nm的光滑表面.

关键词： 纳米二氧化硅抛光液 发光二极管 蓝宝石衬底 性能表征

作者: 张泽芳 刘卫丽 宋志棠

作者单位: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所,信息功能材料国家重点实验室,纳米技术研究室,上海,200050;上海新安纳电子科技有限公司,上海,201506

会议类型: 国内会议

会议名称: 第十三届全国LED产业发展与技术研讨会

会议地点: 武汉

会议语种:中文

页码: 68-71

在线出版日期: 2012-09-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）