压电陶瓷工作台的自校正PID控制

摘要：

　　为了提高压电陶瓷驱动的精密工作台的定位精度，本文提出了一种基于自校正理论的PID控制方法。分析了工作台的动态迟滞模型，辨识了工作台的参数，设计了自校正PID控制算法。

关键词： 集成电路 技术设备 压电陶瓷 系统辨识 PID控制

作者: 魏强 康英杰 王绍民

作者单位: 泰山学院物理与电子工程学院

会议类型: 国内会议

会议名称: 首届山东省科协学术年会

会议地点: 济南

会议语种:中文

页码: 489-491

在线出版日期: 2009-09-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）