分布式全自动单晶硅生长炉控制系统的研究

摘要：

　　本文介绍了应用于单晶硅生长炉的分布式全自动控制系统，该系统能实现高精度的工艺控制。本文重点介绍了晶体生长工艺、系统控制方案、硬件及网络架构和软件。该系统适用于太阳能单晶硅的大规模工业化生产。

关键词： 太阳能电池 单晶硅生长炉 控制系统 功能模块 软件设计

作者: 吴保林 祁晓野

作者单位: 北京航空航天大学 北京

会议类型: 国内会议

会议名称: 2008西门子自动化专家会议

会议地点: 北京

会议语种:中文

页码: 650-656

在线出版日期: 2008-10-29（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）