一种SiC非回转对称非球面光学元件的加工与检测技术研究
本文介绍了一种SiC材质的非回转对称非球面元件的加工和检测.本文提出了一种新的基于数字模板的非零位检测方法.即直接采用Zygo平面干涉仪检测工件,检测结果可以分为三部分：工件实际面形与理想面形的误差,工件理想面形与平面波前的误差和非共路误差.其中第二部分可以事先计算出来并转换为系统误差文件在检测过程中自动去除.通过在相同条件下检测一个已知的球面样板验证了非共路误差对于检测结果的影响可以忽略不计.由此在一次测量中可直接得到面形误差.基于这种检测手段,最后测得实验件的面形精度PV达到3.027λ,rms优于0.025λ,达到设计要求.
碳化硅 非回转对称 非零位检测 数字模板 面形精度 光学元件
闫锋 范镝 张斌智 李锐刚 殷龙海 张学军
中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 长春130033;中国科学院研究生院 北京100084 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 长春130033
国内会议
长春
中文
135-137
2008-10-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）