基于扩散效应的膜/基传感器弯曲分析

摘要：

微电子机械系统在化学和热效应方面的应用越来越广泛,尤其是在短时间内侦测低浓度物质方面.微电子传感器的数据一般通过测量悬臂粱的偏差来获取.本文推导出双层悬臂粱结构中的扩散致弯曲曲率的闭合解.以Fick定律为基础,考虑了扩散和扩散致应力的相互作用,计算并分别讨论两层厚度比、弹性模量比、扩散率比对膜/基结构传感器弹性变形的影响.

关键词： Diffusion induced bending Diffusion induced stress Bilayered cantilever

作者: 邵珊珊 轩福贞 王正东 涂善东

作者单位: 华东理工大学机械与动力工程学院 上海200237

会议类型: 国内会议

会议名称: 第七届全国压力容器学术会议

会议地点: 无锡

会议语种:中文

页码: 481-484

在线出版日期: 2009-10-28（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）