准分子激光加工PMMA同心圆环微结构的实验研究

摘要：

采用准分子激光刻蚀的方法在PMMA基片上制作同心圆环微结构.采用三角形掩模版刻蚀出的,圆环底面为斜面.比较了相同实验条件下直线轨迹与圆环轨迹的刻蚀深度.并将计算得到的深度与实际加工的深度进行了对比.对理论计算结果与实际加工结果存在差异的原因进行了讨论.测量了样品的所有圆环的刻蚀深度,在准分子激光加工条件不变的情况下随着圆环半径的增大刻蚀深度呈现出减小的趋势.分析了加工参数对刻蚀深度的影响.

关键词： excimer laser micromachining etching depth concentric circles

作者: 王震 陈涛

作者单位: 北京工业大学激光工程研究院,北京100124

会议类型: 国内会议

会议名称: 第13届全国特种加工学术会议

会议地点: 南昌

会议语种:中文

页码: 383-388

在线出版日期: 2009-10-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）