类金刚石膜Ti、Zr掺杂对DLC力学性能的影响
主要针对类金刚石膜存在的内应力大等缺点,通过反应磁控溅射技术制备了掺杂Ti、Zr金属元素的DLC薄膜,将掺杂Ti、Zr金属元素的DLC薄膜与未掺杂DLC薄膜的表面形貌和力学性能进行了比较,结果表明金属的掺杂能够明显降低薄膜内应力,提高薄膜附着力,与含氢DLC膜相比,金属的掺杂还提高了薄膜的硬度,但掺杂后的摩擦系数变大.
DLC film diamond like carbon film PSⅡ Ti and Zr doping
马国佳 孙刚 张华芳 武洪臣
北京航空制造研究所/高能束流加工技术重点实验室,北京100024
国内会议
南昌
中文
630-633
2009-10-01(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)