改變電漿功率提升二氧化钛薄膜光觸媒特性應用於可撓式
本研究以电浆激发化学气相沉积(PECVD)法沉积二氧化钛薄膜，利用氬气(100 sccm)输送四异丙基钛酸酯(Ti (OC3H7)4)之蒸气，以氧气(15 sccm)当电浆激发气体产生反应，沉积二氧化钛触媒薄膜於玻璃)基板上，主要改变不同电浆电源功率(200～300 W)，以提升光触媒薄膜特性，接著利用高温退火炉进后续退火处理(氧气气氛下退火500度30分鐘)，退火完成后利用XRD量测薄膜之结晶性，接著利用UVLED模组进行亚甲蓝基液降解实验，并分析不同光催化反应研究其触媒活性。
电浆功率 二氧化钛薄膜 光触媒特性 化学气相沉积 亚甲蓝基液降解
胡振宇 陳肇和 張淑美 莊賦祥 余清美 洪鵬翔 陳冠志 朱維屏
大漢光電股份有限公司 台中 437 國立台北科技大學 106 國立虎尾科技大學 632 香港中文大學
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89-89
2012-10-26（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）