TiO2薄膜的大气压冷等离子体沉积与光催化氧化气相甲醛

摘要：

　　TiO2薄膜广泛应用于光催化消除污染物、自清洁、抗菌及染料敏化的太阳能电池等方面，发展低温型制膜方法是其重要发展方向。等离子体化学气相沉积(Chemical Vapor Deposition,CVD)无疑是一类有代表性的低温型制膜方法。其原理一般是利用冷等离子体的电子温度远高于重粒子温度的非平衡特性，在低温下驱动或增强CVD过程所涉及的化学反应。其最大的优点是反应温度远低于常规的热CVD温度。但现有的等离体CVD制备薄膜技术，大多在低气压下进行。本论文报导本课题组利用大气压介质阻挡放电等离子体技术制备TiO2薄膜的研究与进展，以及TiO2薄膜应用于光催化氧化脱除空气污染物甲醛的研究。

关键词： 二氧化钛薄膜 等离子体化学气相沉积 空气污染 甲醛脱除

作者: 李小松 底兰波 常大磊 朱爱民

作者单位: 大连理工大学等离子体物理化学实验室 大连 116024

会议类型: 国内会议

会议名称: 第十三届全国太阳能光化学与光催化学术会议

会议地点: 武汉

会议语种:中文

页码: 91-91

在线出版日期: 2012-10-26（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）