磁控溅射制备铜铟镓硒薄膜
铜铟镓硒(CIGS)薄膜电池具有性能稳定、寿命长、光电转化效率高等特点,是目前最有发展前景的太阳能电池之一。然而铜铟镓硒电池不同于传统的硅太阳能电池,其多晶结构薄膜比单晶结构薄膜组装的太阳能电池转化效率要高已经得到证明。本文通过磁控溅射方法,用单个的三元的Cu-In-Ga合金靶材制备铜铟镓薄膜”1,2”,利用不同的退火硒化过程,获得的具有不同晶粒尺寸的多晶结构薄膜。并且通过对Cu-工n-Ga前驱金属层的进行不同的硒化退火过程,获得具有不同晶粒尺寸的薄膜,并组装电池,对其光电性能进行研究。
铜铟镓硒薄膜 太阳能电池 磁控溅射 多晶结构 光电性能
侯泽良 周正基 武四新
河南大学特种功能材料重点实验室,河南开封金明校区,475004
国内会议
武汉
中文
115-115
2012-10-26（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）