微传感器的发展及其应用

摘要：

　　介绍了微传感器近年来的发展和应用的情况，重点讨论了微传感器，特别是微加速度传感器、微压力传感器和微角速度传感器在国内外的研究情况，最后提出了微传感器发展要注意的问题。

关键词： 微传感器 技术标准 产品质量 工程应用

作者: TANG Bin 汤彬

作者单位: Computer Center,Shanghai University of Engineering Science,Shanghai 200336 上海工程技术大学计算中心,上海,200336

会议类型: 国内会议

会议名称: 第20届全国计算机新科技与计算机教育学术大会

会议地点: 昆明

会议语种:中文

页码: 498-502

在线出版日期: 2009-08-02（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）