接觸式表面輪廓儀於導光板V形微結構特徵尺寸之量測
(0) 微V形微结构常应用于光学元件如液晶平面显示器的导光板,随着精微制造技术的应用,V形微结构的尺寸降至微米。如何简易的检测模具与成形微结构的尺寸,包括特征高度、宽度与角度等,而不受限于结构材料与透光性,便成为一项重要的课题。本研究探讨接触式表面轮廓仪用于下凹微V形结构量测的限制与对策,首先提出以矽基非等向湿蚀刻,制作探针半径的校正治具,再推导扫瞄轮廓与实际V结构特征参数的转换公式。本研究以KLA-Tencor Alpha-Step表面轮廓仪为例,探针顶角45°,半径2μm,可应用于底宽4μm以上的V形微结构量测。文中分析底宽10 μm 、顶角约54°的V形长沟模仁,与PMMA导光板特征成形转写率量测,并与扫瞄式电子显微镜与雷射共轭焦显微镜的结果比较,所提出的量测方式不受限于元件透光性,且不需破坏试片,量测高度误差在4％以下,具有快速与低成本的优势。
触式表面轮廓仪 微V形结构 导光板 转写率量测 量测误差
余志成 黄明賢 陳宗男
國立高雄第一科技大學機械舆自動化工程系
国内会议
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87-91
2009-08-25（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）