溅射离子泵的工作原理

摘要：

　　本文对潘宁型结构的溅射离子泵的工作原理、特点、结构进行了详细的介绍，并对其工作压力范围、抽气的机理进行了阐述。

关键词： 溅射离子泵 自由行程 潘宁型结构 洛仑兹力 繁流二次电子 抽气机理

作者: 郑晓阳

作者单位: 中国科学院电子学研究所高功率气体激光技术部

会议类型: 国内会议

会议名称: 中国科学院电子学研究所2006年青年学术交流会

会议地点: 北京

会议语种:中文

页码: 838-840

在线出版日期: 2006-09-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）