RGTO SnO2薄膜制备工艺及气敏特性研究

摘要：

　　针对RGTO SnO2薄膜颗粒粒径较大的问题，通过对磁控溅射气压的控制，制备出了纳米粒径RGTO SnO2薄膜，用SEM表征了其微观结构及形貌，计算了其粒径分布，研究了溅射气压对其形核及生长过程的影响，测试了薄膜对乙醇的气敏特性。研究结果表明，改变溅射气压能够有效控制RGTO SnO2薄膜的粒径，这种控制主要发生在形核阶段，是通过溅射气压对沉积速率的影响产生的；气敏测试结果证实了该纳米粒径敏感膜具有较高的灵敏度和较快的响应恢复特性。

关键词： 二氧化锡薄膜 纳米结构 磁控溅射气压 气敏特性 粒径分布

作者: 张阳 何秀丽 高晓光 李建平

作者单位: 中国科学院电子学研究所传感器国家重点实验室(北方基地)

会议类型: 国内会议

会议名称: 中国科学院电子学研究所2006年青年学术交流会

会议地点: 北京

会议语种:中文

页码: 853-859

在线出版日期: 2006-09-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）