一种新颖的谐振式差分微加速度传感器的理论建模

摘要：

　　为了提高灵敏度，提出一种包括有效的微型杠杆结构的谐振式差分微加速度传感器.分析该结构差分检测的原理，推导该设计的理论模型，包括结构建模和轴向力作用下谐振微梁的固有频率偏移的推导，得到待测加速度与输出固有频率偏移的关系。使用有限元模拟来证实理论模型，模拟的结果说明该设计的灵敏度高于4KHz/g.

关键词： 微机械电子系统 谐振式微加速度传感器 微型杠杆结构 结构差分检测 有限元模拟

作者: 陈健 陈德勇 王军波

作者单位: 中国科学院电子学研究所传感器国家重点实验室(北方基地)

会议类型: 国内会议

会议名称: 中国科学院电子学研究所2006年青年学术交流会

会议地点: 北京

会议语种:中文

页码: 884-886

在线出版日期: 2006-09-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）