超高真空排气设备测温系统误差的校正

摘要：

　　通过分析行波管和排气台经常出现在高温漏气的现象，发现现有排气台烘箱测温系统存在问题。从理论上对这一问题进行了分析，并在实验上验证了这一分析。理论和实验表明，随着温度的升高，现有排气台烘箱显示温度与真实温度相差增大.真实温度与显示温度最高相差71℃.解决了困扰行波管排气工艺过程中行波管在高温时经常漏气的难题。

关键词： 行波管 排气工艺 高温漏气 测温系统 温差电偶

作者: 张晓林 刘燕文 许柯 蔡延宁 姚刘聪 戴志浩

作者单位: 中国科学院电子学研究所微波器件与技术研究发展中心

会议类型: 国内会议

会议名称: 中国科学院电子学研究所2006年青年学术交流会

会议地点: 北京

会议语种:中文

页码: 430-434

在线出版日期: 2006-09-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）