阴极表面成型技术

摘要：

　　阴极技术是真空电子器件尤其是大功率微波器件的核心技术之一。其中阴极表面成型技术是阴极制备工艺中的关键技术，它的好坏决定了阴极发射的均匀性等关键性能。本文介绍了目前在阴极表面加工中所应用的技术，其中包括阴极毛坯的初加工以及最后的圆弧表面加工。

关键词： 阴极毛坯 圆弧表面加工 阴极发射 均匀性 大功率微波器件

作者: 邹涛

作者单位: 中国科学院电子学研究所微波器件与技术研究发展中心

会议类型: 国内会议

会议名称: 中国科学院电子学研究所2006年青年学术交流会

会议地点: 北京

会议语种:中文

页码: 445-447

在线出版日期: 2006-09-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）