新型高效高产三氯氢硅合成流化床新工艺
介绍山东新龙科技股份有限公司自主研发三氯氢硅合成用新型高效高产流化床新工艺的过程,采用该工艺原料转化率达95%,产品质量分数达99.99%,操作周期超过8个月;主要消耗指标硅粉单耗≤255 kg,蒸汽单耗≤120 kg、氯气单耗≤930 kg、氢气单耗≤170m3.
三氯氢硅 流化床 技术优化 工艺指标
王军涛 杨秀岭 刘波 常永城
潍坊市经济和信息化委员会,山东潍坊261061 山东新龙科技股份有限公司,山东寿光262700
国内会议
昆明
中文
205-207
2012-10-01(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)