流化床法制备粒状多晶硅研究进展

摘要：

　　本文总结了流化床法制备粒状多晶硅技术的发展现状，就流化床法生产粒状多晶硅工艺中存在的内壁沉积、粉尘、气泡等问题进行了分析，并提出了相应的解决方法。

关键词： 多晶硅 流化床法 制备技术 性能评价

作者: 陈其国 高建

作者单位: 江苏中能硅业科技发展有限公司,江苏徐州221004 天津工业大学,天津200387

会议类型: 国内会议

会议名称: 第30届全国氯碱行业技术年会暨第13届“佑利杯”论文交流会

会议地点: 昆明

会议语种:中文

页码: 233-236

在线出版日期: 2012-10-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）