含氟电子气体研究进展

摘要：

　　含氟电子气体在半导体/电子工业中主要用作清洗剂和刻蚀剂。本文综述了含氟电子气体品种、性能及其研究进展，指出研究方向与新一代含氟电子气体，以供同仁参考。

关键词： 含氟电子气体 性能参数 品种资源 环境保护

作者: Li Shengji 李盛姬 Liu Caibo 柳彩波 Liu Wucan 刘武灿 Zhang Jianjun 张建君

作者单位: Zhejiang Chemical Industry Research Institute,Hangzhou 310023,Zhejiang 浙江省化工研究院有限公司,浙江,杭州,310023

会议类型: 国内会议

会议名称: 全国特种气体第十六次年会

会议地点: 广西北海

会议语种:中文

页码: 7-12

在线出版日期: 2012-10-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）