超纯气体纯化设备的研发与应用

摘要：

　　介绍了采用催化氧化、化学吸附、物理吸附、吸气剂等技术联用,对氮气、氢气、氩气等进行超纯气体纯化的系列新工艺。该系列工艺配合使用洁净管道、管件、阀门、洁净施工,所生产出的纯化器产气纯度可达8N以上,各种有害杂质均小于1ppb,确定了所开发的氮气、氢气、氩气纯化工艺产气指标、抗波动能力及适用性均可满足半导体行业发展需求。

关键词： 超纯气体 纯化工艺 性能指标 流程设计

作者: 侯鹏 付启贵 李文强 赵霖 高嵩 乐韵 皮山丹 邱长春

作者单位: 大连中鼎化学有限公司,辽宁大连116039

会议类型: 国内会议

会议名称: 全国特种气体第十六次年会

会议地点: 广西北海

会议语种:中文

页码: 18-21

在线出版日期: 2012-10-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）