MOCVD尾气中氨气的回收和循环利用

摘要：

　　介绍了用于MOCVD尾气中氨气的回收系统。该系统采用吸附和冷冻的方式回收MOCVD尾气中的氨气，然后经精馏提纯后，再循环利用。主要流程包括：过滤、吸附、冷凝、精馏等。

关键词： 尾气处理 氨气回收 MOCVD技术 工艺流程

作者: TANG Jianbo 汤剑波 LI Dongsheng 李东升

作者单位: Shanghai GenTech Co.,Ltd.,Shanghai 201108,China 上海正帆科技有限公司,上海201108

会议类型: 国内会议

会议名称: 全国特种气体第十六次年会

会议地点: 广西北海

会议语种:中文

页码: 22-26

在线出版日期: 2012-10-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）