氟碳直接合成高纯四氟化碳的工艺技术

摘要：

　　随着半导体产业的迅猛发展，高纯四氟化碳(CF4)的需求日益显现。然而，生产高纯CF4的技术报道较少，限制了微电子产业的发展进程。综述了国内外氟碳直接合成四氟化碳的工艺技术，并作出了展望，同时对产品纯化所涉及的碱洗、低温精馏、吸附等方法进行了概述。根据本公司现行的生产工艺，生产的高纯CF4质量好成本低，可以满足国内市场的需要。

关键词： 四氟化碳 合成工艺 产品质量 纯化技术

作者: 唐忠福 肖三 桂思祥 马建修 夏致远

作者单位: 佛山市华特气体有限公司,广东佛山528241

会议类型: 国内会议

会议名称: 全国特种气体第十六次年会

会议地点: 广西北海

会议语种:中文

页码: 27-29

在线出版日期: 2012-10-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）